清华大学调研了众多等离子表面处理设备，最终选择了上海沛沅生产的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机。根据客户的技术要求，提供了可以满足老师所有技术参数要求的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机，以下为该设备的安装调试图。

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2020年12月，上海交通大学采购我司PLUTO-MC沉积镀膜设备。该设备采用13.56MHz射频，涂覆面积为150*150mm，具备良好的稳定性与可重复性。

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电子科技大学已采购多台等离子设备，包括PLUTO-T等离子清洗机，PLUTO-MD等离子去胶机等，用户反馈良好。主要涉及的应用有：晶圆光刻胶的去除、电子半导体样品表面有机物的去除、多功能微纳结构宽带吸收器的表面处理等等。

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