品牌 | PLUTOVAC | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 生物产业,能源,电子,制药,综合 | | |
PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机特点:
1. 桌面型,性能稳定、操作简便、使用成本极低、易于维护,高性价比。
2.小身材,有效处理面积大,可以轻松处理8寸硅片去胶等应用,最大可以处理203mm*203mm样品。
3.采用气浴电极,清洗效率高。
4.灵活的电极配置方案,最多可以处理2片8寸硅片
5.对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和表面改性。
PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机参数:
1. 真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm
2. 电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
3. 电极尺寸:205mm *205mm
4. 频率:13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)
5. 功率:0-500W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6. 气体控制:针式气体流量阀, 60-600ml 2路气体
7. 真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
控制软件功能:界面显示实时工作状态