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台式真空等离子清洗机的技术特点一起了解下

更新时间:2024-10-17       点击次数:51
  台式真空等离子清洗机采用等离子体技术,利用氧、氮等气体在高频电场下离子化生成的等离子体,在低压条件下对物体表面进行清洗和改性处理。
 
  台式真空等离子清洗机的工作原理主要包括以下几个步骤:
 
  创建真空环境:利用真空泵将腔体内抽至一定的真空度,通常在0.3MPa到1MPa之间,为等离子体的产生创造条件。
 
  产生等离子体:在达到一定真空度后,向腔体中通入非聚合性无机气体,如氩气(Ar)、氮气(N2)、氢气(H2)或氧气(O2)等。这些气体在高频电场的作用下被激发,分子间的距离增大,分子或离子的平均自由运动长度增加,从而形成等离子体。
 
  等离子体轰击:产生的等离子体含有高能量的离子,它们在电场中进行无序运动并轰击被清洗物体的表面。这种轰击具有物理和化学双重作用,可以打断化学键,去除物体表面的污染物。
 
  排出挥发性物质:清洗过程中产生的挥发性物质通过工作气流被真空泵抽出,从而达到清洁的目的。
 
  台式真空等离子清洗机的技术特点:
 
  高效去污能力:利用等离子体技术,可以在微观级别上去除工件表面的污染物。等离子体由高能粒子构成,能够深入到传统清洗方法难以触及的微小缝隙中,分解并清除油脂、氧化物、有机污染物等,从而实现高效的清洗效果。
 
  无损清洗过程:与化学清洗或机械打磨不同,等离子清洗不会对被清洗物品造成物理损伤。这是因为等离子体作用温和且可控,能够在不改变材料表面特性的前提下完成清洗任务,保护了敏感或精细的物品表面。
 
  绿色环保:等离子清洗过程中不使用任何化学试剂,避免了有害化学物质的产生和排放,符合当前环保趋势。此外,它还减少了水资源的消耗,与传统水基清洗相比,更加节能环保。
 
  台式真空等离子清洗机在多个领域都有广泛的应用:
 
  科研领域:在科研实验中,样品表面的清洁度对于实验结果具有重要影响,以其高效的清洗能力和无损的清洗过程,成为科研领域的重要工具。
 
  半导体制造:在半导体制造过程中,去除硅片表面的污染物对于提高芯片质量和性能至关重要,能够去除硅片表面的微小颗粒和有机物残留,提高芯片的质量和可靠性。
 
  生物医学:在生物医学领域,医疗器械和生物材料的表面清洁度对于其性能和安全性具有重要影响,能够提供一种无污染的清洗方式,满足生物医学领域的需求。
台式真空等离子清洗机
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